美國INFICON電子檢漏儀
INFICON檢漏儀 電子檢漏儀
· 用組合法拉*杯/電子倍增器的各種原子質(zhì)量單位范圍
· 自動(dòng)EM增益調(diào)整
· 九十年的動(dòng)態(tài)范圍
· 自動(dòng)調(diào)諧質(zhì)量位置和分辨率
· 可變的駐留時(shí)間優(yōu)異的信號噪聲比
· 5E-15乇MDPP（100 AMU版）
 
INFICON檢漏儀 電子檢漏儀
典型應(yīng)用:
· 氦檢漏各種工具模塊
· 模塊的條件進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)監(jiān)測
· 記錄數(shù)據(jù)后預(yù)防性維護(hù)
· 率上升的測量
· 背景狀態(tài)監(jiān)測