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美國KLA - TENCOR光學表面分析儀

KLA-Tencor公司為**美資半導(dǎo)體(芯片)設(shè)備供貨商,公司總部在美國硅谷,擁有 6000 多名員工,自1976年成立以來不斷致力于產(chǎn)品研究與發(fā)展,客戶提供更*善更人性化服務(wù),并協(xié)助半導(dǎo)體(芯片)廠商創(chuàng)造高品質(zhì)、**率的產(chǎn)品,目前分公司遍布美洲、歐洲、亞洲等國家。KLA-Tencor 一直致力于幫助其客戶降低運營成本并增加收益,并已經(jīng)成為其堅定不移的長期合作伙伴。
KLA-Tencor主要產(chǎn)品:
CS20光學表面分析儀
WaferSight PWG 已圖案晶圓幾何形狀測量系統(tǒng)
LMS IPRO6 光罩圖案位置測量系統(tǒng)
K-T Analyzer 9.0 先進數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)
2920 系列寬波等離子圖案晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
Puma 9850 激光掃描圖案晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
Surfscan SP5 無圖案晶圓缺陷
Teron  SL650 光罩檢測系統(tǒng)
處理450mm硅片的Surfscan SP3系統(tǒng)


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