德國Sentech Instruments GmbH 公司的所有產品，該公司位于德國*都柏林，是一家從事薄膜測量儀器和等離子體設備研發(fā)、生產的高科技公司。SENTECH公司生產的各種等離子體刻蝕、沉積設備具有高刻蝕率、低損傷、低溫、高均勻度、沉積速度快等特點，廣泛地用于半導體、微系統(tǒng)、有機薄膜等領域。

SENTECH公司致力于發(fā)展薄膜測量技術(光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀)和等離子加工技術(等離子刻蝕、沉積系統(tǒng)，定制解決方案)，**研發(fā)、制造、銷售相關儀器和設備。

激光橢偏儀SE 400advanced

多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器，對測量薄膜厚度，折射率和吸收系數有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜，多層膜和大塊材料(基底)

• 超高精度和穩(wěn)定性，來源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補償器設置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器

• 高精度樣品校準，使用光學自動對準鏡和顯微鏡

• 快速簡易測量，可選擇不同的應用模型和入射角度

• 多角度測量，可完全支持復雜應用和*準厚度

• 全方面的預設應用，包含微電子、光電、磁存儲、生命科學等領域

規(guī)格:

• 激光波長632.8 nm

• 150 mm (z-tilt) 載物臺

• 入射角度可調，步進5º

• 自動對準鏡/顯微鏡，用于樣品校準

• Small footprint

• 以太網接口連接到PC

SE 400advanced軟件特征:

• 預先定義應用

• 多角度測量

• 廣泛的材料數據庫

• 擬合狀況的圖形反饋

• 支持多種語言

代表型號：SI500、SI500PPD、SE400advanced、SE500advanced、SE 900-50、SENDURO、SENresearch、Reflectometer RM、Etchlab200、SI100.....

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